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當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  技術(shù)文章

  • 2025

    8-12

    在MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))、功率器件、生物芯片等領(lǐng)域,深硅刻蝕技術(shù)通過(guò)對(duì)硅材料進(jìn)行高精度縱深加工,成為構(gòu)建三維微納結(jié)構(gòu)的“核心雕刻工具”,其應(yīng)用覆蓋從微米級(jí)到納米級(jí)的復(fù)雜結(jié)構(gòu)制備。?MEMS器件制造是深硅刻蝕的典型應(yīng)用領(lǐng)域。在加速度傳感器生產(chǎn)中,采用感應(yīng)耦合等離子體(ICP)刻蝕技術(shù),在硅片上刻蝕出深度達(dá)50-200μm的梳齒結(jié)構(gòu),刻蝕垂直度偏差小于1°,確保器件在加速度變化時(shí)的電容變化線性度;微型陀螺儀的振動(dòng)腔體則通過(guò)博世工藝實(shí)現(xiàn)周期性刻蝕與鈍化,形成側(cè)壁光滑的深槽,深寬比可...

  • 2025

    8-11

    聚焦離子束(FIB)掃描電鏡(SEM)系統(tǒng)結(jié)合了離子束和電子束技術(shù),能夠在微觀和納米尺度上進(jìn)行高精度的表面和結(jié)構(gòu)分析。以下是FIB-SEM系統(tǒng)在實(shí)驗(yàn)中的應(yīng)用:1.樣品準(zhǔn)備切割與修整:FIB系統(tǒng)可以用來(lái)精準(zhǔn)切割樣品,尤其是那些硬質(zhì)或脆性材料。通過(guò)精細(xì)的離子束處理,F(xiàn)IB可以去除樣品表面的多余部分,露出內(nèi)部結(jié)構(gòu)。表面處理:FIB也常用于樣品表面的鍍層處理,如金屬鍍層,以增強(qiáng)表面導(dǎo)電性,便于SEM觀察。2.納米級(jí)成像高分辨率成像:SEM通過(guò)電子束掃描樣品表面,產(chǎn)生高分辨率的圖像。結(jié)...

  • 2025

    8-5

    刻蝕系統(tǒng)作為現(xiàn)代制造業(yè)的核心裝備之一,解鎖了無(wú)數(shù)微觀世界的奧秘。它是一套復(fù)雜而精密的技術(shù)組合,涵蓋了化學(xué)、物理、材料科學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域的前沿成果。一個(gè)完整的刻蝕系統(tǒng)通常包括氣體供應(yīng)模塊、反應(yīng)腔室、電源控制系統(tǒng)以及工藝監(jiān)測(cè)單元等部分。其中,氣體供應(yīng)的準(zhǔn)確性直接影響到刻蝕的效果和質(zhì)量。不同的氣體種類和配比可以實(shí)現(xiàn)對(duì)不同材料的選擇性刻蝕,滿足多樣化的加工需求。反應(yīng)腔室內(nèi)的環(huán)境控制至關(guān)重要,穩(wěn)定的溫度、壓力和氣流分布是保證刻蝕均勻性和重復(fù)性的關(guān)鍵因素。刻蝕系統(tǒng)的應(yīng)用領(lǐng)域極為廣泛。在半導(dǎo)體...

  • 2025

    7-17

    在材料科學(xué)、生物學(xué)、地質(zhì)學(xué)等眾多科研領(lǐng)域以及制造業(yè)中,3D掃描電鏡發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,它能夠讓我們?cè)谖⒂^層面以三維的形式觀察物體的形貌和結(jié)構(gòu)。那么,這種先進(jìn)的儀器究竟是如何工作的呢?一、電子發(fā)射與加速3D掃描電鏡首先通過(guò)電子槍產(chǎn)生電子束,常見(jiàn)的電子槍有鎢絲槍、場(chǎng)發(fā)射槍等。鎢絲槍是通過(guò)加熱鎢絲,使其熱發(fā)射電子;而場(chǎng)發(fā)射槍則是利用強(qiáng)電場(chǎng)從尖銳的陰極表面抽取電子,場(chǎng)發(fā)射電子槍產(chǎn)生的電子束亮度高、能量分散度小。這些電子在高壓電場(chǎng)的作用下被加速,形成高能的電子束。二、電子與樣品相互作...

  • 2025

    7-9

    在當(dāng)今生命科學(xué)、醫(yī)學(xué)研究以及病理診斷等諸多領(lǐng)域,激光捕獲顯微切割系統(tǒng)正發(fā)揮著關(guān)鍵的作用,其憑借其技術(shù)優(yōu)勢(shì),擁有廣泛且重要的應(yīng)用范圍。一、基礎(chǔ)生物學(xué)研究中的得力助手在分子生物學(xué)領(lǐng)域,系統(tǒng)能夠精準(zhǔn)地從復(fù)雜的組織樣本中分離出特定的細(xì)胞群體或者單個(gè)細(xì)胞。例如在研究基因表達(dá)調(diào)控時(shí),科研人員可以利用該系統(tǒng)準(zhǔn)確地捕獲處于不同發(fā)育階段、不同生理狀態(tài)下的細(xì)胞,像研究胚胎發(fā)育過(guò)程中某一特定時(shí)期細(xì)胞的基因表達(dá)情況,排除其他無(wú)關(guān)細(xì)胞的干擾,從而更純粹地去分析目標(biāo)細(xì)胞內(nèi)基因的轉(zhuǎn)錄、翻譯等過(guò)程,為揭示生...

  • 2025

    7-8

    透射電子顯微鏡(TEM)及其應(yīng)用解析一、技術(shù)原理:電子束穿透樣品的“微觀探針”TEM通過(guò)高能電子束(能量60-300keV)穿透超薄樣品(厚度通常小于100nm),利用電子與樣品原子的相互作用實(shí)現(xiàn)成像與分析:電子束生成:電子槍(鎢絲、六硼化鑭或場(chǎng)發(fā)射型)發(fā)射電子,經(jīng)聚光鏡聚焦形成平行束。樣品相互作用:電子穿透樣品時(shí),部分被吸收或散射,未散射電子攜帶樣品結(jié)構(gòu)信息。成像與檢測(cè):透射電子經(jīng)物鏡、中間鏡和投影鏡多級(jí)放大,在熒光屏或CCD相機(jī)上形成高分辨率圖像。信號(hào)分析擴(kuò)展:能譜儀(E...

  • 2025

    7-4

    3維超景深顯微鏡憑借其突破傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡景深限制的能力,能清晰呈現(xiàn)微觀物體的立體結(jié)構(gòu),在材料科學(xué)、生物學(xué)、電子工業(yè)等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。掌握其正確使用方法,是充分發(fā)揮設(shè)備性能的關(guān)鍵。?一、使用前準(zhǔn)備?1、樣品制備:根據(jù)樣品特性進(jìn)行適當(dāng)處理。對(duì)于生物樣品,若需長(zhǎng)期觀察,可進(jìn)行固定、脫水等處理;對(duì)于電子元件等固體樣品,確保表面清潔,無(wú)油污、灰塵等雜質(zhì),必要時(shí)用酒精擦拭。樣品大小需適配載物臺(tái),過(guò)大或過(guò)小的樣品可借助專用夾具固定。?2、設(shè)備檢查:接通電源,打開(kāi)顯微鏡主機(jī),檢查光源是否正常亮...

  • 2025

    6-15

    在材料科學(xué)的前沿陣地,化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)于無(wú)形之中雕琢、“沉淀”出諸多驚艷業(yè)界的高科技新材料,為電子、能源、航天等領(lǐng)域注入澎湃動(dòng)力。其運(yùn)作起始于精準(zhǔn)的氣體調(diào)控。系統(tǒng)依據(jù)材料配方,將含特定元素的氣態(tài)前驅(qū)體,如制備碳化硅(SiC)時(shí)的硅烷(SiH?)與烴類氣體,按嚴(yán)苛比例混合。這些源氣體純度高,雜質(zhì)含量低至ppb(十億分之一)級(jí)別,確保后續(xù)沉積純凈無(wú)瑕。通過(guò)質(zhì)量流量控制器,氣體流量被精確拿捏,誤差微乎其微,從源頭保障成分精準(zhǔn)。進(jìn)入腔室的氣體受熱激活,分子動(dòng)能激增,高溫環(huán)境由智能控溫...

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